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从多种基板上制造高性能光学器件

发布时间:2025-11-14 13:25:05 阅读数: 57

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选择合适的材料是防止高性能光学系统在压力下开裂的关键。光学窗口反射镜所用的基材决定了系统在工作条件下的光学性能、热稳定性和耐久性。

Zygo TM是精密光学领域的全球领导者,其独特之处在于采用不拘泥于材料的方法,使用种类繁多的光学材料和非标准材料进行制造,以确保每种应用都能获得最佳性能。

虽然许多光学制造商主要使用 BK7、熔融石英和各种火石玻璃等传统材料,这些材料非常适合通用可见光谱光学器件,但 Zygo TM更进一步。

该公司能够加工大多数供应商避之不及的复杂特种晶体和陶瓷基板,并能像处理日常材料一样轻松应对。这是Zygo ™的核心优势之一,对于需要定制化高性能解决方案的客户而言至关重要。

Zygo 的专业技术涵盖常用材料以及需要专业知识和基础设施的材料。锗、镀镍铝、单晶硅和多晶硅、蓝宝石以及零膨胀陶瓷(例如 ZERODUR? 和CLEARCERAM® - Z )等材料均在 Zygo 进行常规加工。每种材料都有其独特的用途。

红外材料

锗(Ge)因其在红外光谱范围内的透明性而备受青睐,因此非常适合用于红外光学器件和热成像系统。镀镍铝因其易于加工且与反射涂层兼容,常被用作镜面基板。

硅有单晶和多晶两种形式,具有双重功能:由于其在特定红外波长下的透明性和优异的导热性,它可用于透射和反射,尤其是在电信或高温应用中。

硒化锌 (ZnSe) 因其黄色色调而为人熟知,是另一种主要用于红外波段的材料。与硫化锌 (ZnS) 和 ClearTran? 一样,硒化锌在热成像系统中发挥着至关重要的作用,Zygo 公司已开发出相应的工艺来应对其特殊的灵敏度

ZERODUR?和CLEARCERAM??

在半导体制造领域,公差以纳米甚至皮米来衡量,Zygo 生产由 ZERODUR ?和 CLEARCERAM ? -Z 等材料制成的精密光学元件和反射镜。

这些材料具有极低的膨胀系数(CTE),接近于零ppm,从而确保在温度波动下尺寸的稳定性。这使得它们非常适合用于晶圆台和检测及光刻系统的计量框架,因为即使是半纳米的变形也可能危及工艺良率。

多光谱硫化锌 (ZNS) 和CLEARTRAN?

此外,Zygo 还处理航空航天、国防和先进科学应用领域中至关重要的技术要求极高的材料。多光谱硫化锌 (ZnS) 和 ClearTran?就是突出的例子,因为它们可以同时透射可见光和红外光谱,从而使具有多个传感器的系统能够通过单个光学窗口(也称为公共或共享孔径)工作。

它们常用于航空航天领域,共享孔径可以帮助设计人员实现载人和无人侦察吊舱的 SWaP 预算(尺寸、重量和功率)中的重量部分。

氟化钙、氟化镁和氟化钡

氟化钙 (CaF? )、氟化镁 (MgF? )和氟化钡 (BaF? )是晶体材料,以其在真空紫外到红外光谱范围内的透光性而闻名。由于这些材料质地柔软且易受热冲击和机械冲击的影响,因此加工难度极大。然而,在需要全光谱光学透明性的应用中,它们是不可替代的。

Zygo 在这些易碎材料方面的经验,包括将其用于航空环境,凸显了该公司先进的抛光和材料处理流程。

蓝宝石

蓝宝石是Zygo产品组合中另一种备受追捧的材料。蓝宝石的硬度仅次于钻石,同时还具有出色的抗刮擦性、从紫外光到红外线的光学清晰度以及机械强度。

然而,这些优势也伴随着代价,因为蓝宝石是抛光难度最高的材料之一。抛光一块蓝宝石光学元件所需的时间可能是抛光一块熔融石英元件的数倍。尽管如此,其卓越的耐用性使其适用于飞机舷窗、传感器罩以及其他在恶劣环境下使用的裸露光学系统。

堇青石

Zygo公司还加工先进陶瓷和混合材料,将其业务拓展至专业应用领域。堇青石是一种陶瓷材料,可以通过工程设计使其热膨胀系数与系统关键部件(例如钛或ZERODUR? )相匹配。

堇青石由粉末成型,经模压后烧制而成,因此能够制造出传统玻璃或晶体难以实现的复杂形状和轻质结构。这些特性使得堇青石成为对热兼容性和结构复杂性要求极高的光机系统的理想选择。

尖晶石和ALON

Zygo公司还生产由尖晶石和ALON(氮氧化铝)制成的光学元件,这两种超硬透明陶瓷主要用于国防领域的共形窗口。这些材料经过特殊设计,能够承受弹道冲击和爆炸力,同时保持光学清晰度。

这些材料的硬度可与蓝宝石媲美,但光学透射率略有不足。此外,它们优异的抗环境应力性能使其成为装甲车车窗和传感器防护罩的理想材料。

虽然加工这些材料很困难,但 Zygo 的经验和抛光技术保证了可靠的性能。

硅和碳化硅

由于其独特的机械特性,碳化硅(SiC)在国防和航空航天工业中日益受到重视。碳化硅重量轻、刚性极高且导热性极佳,非常适合用于星载光学器件和反射镜系统。

其复合材料特性使其能够制造出质量轻、刚性高的结构,足以承受发射应力并在轨道上可靠运行。碳化硅与碳纤维一样,具有刚性和轻质的特点,但它是完全陶瓷形式的。Zygo公司对这种材料的加工和精整能力使其在航空航天和卫星光学领域占据了重要地位。

硅是一种用途广泛的材料,既有单晶形式也有多晶形式。与碳化硅一样,它具有卓越的导热性,是高温环境的理想选择。硅还具有独特的光学优势,即对红外波段具有部分透明性,使其成为电信应用以及红外反射镜和红外窗口的首选材料。

Zygo 具备加工硅和碳化硅的能力,能够满足先进航空航天、国防和电信系统对热学和光学的精确要求。

物质哲学

至关重要的是,Zygo 的方法并非受制于材料制造的便捷性,而是专注于创造能够在各种应用场景下都取得最佳效果的材料。从这个意义上讲,他们真正践行了材料无关论。

该公司为客户提供了无与伦比的自由度来设计光学系统,支持各种材料,包括坚固的化学惰性晶体、易碎的氟化物基底、红外透明半导体和定制陶瓷。

这种理念,加上丰富的制造经验、先进的计量技术和洁净室级别的质量控制,使 Zygo 能够为那些对性能要求极高的行业生产精密光学产品。

航空航天、国防、半导体、电信和科学研究等行业都依赖 Zygo 制造出在热学、机械学和光学方面都针对其所处环境进行优化的光学元件。

概括

在精度至关重要的行业中,Zygo 的材料多功能性提供了战略优势,例如,可以生产用于紫外到红外透射的盐晶体、用于军用车辆的防弹陶瓷以及用于光刻的零 CTE 反射镜。

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