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精密定位平台PPS-20SM
底座定位器类型: Single Axis Tilt StagePPS-20步进电机版本适用于需要高速和高阻挡力的应用。微型交叉滚柱轴承可确保高刚度和导向精度,可承受高达20 N的负载(水平方向)。它采用两相步进电机,可实现高速(>5mm/s)和高阻挡力(>10 N)。PPS-20SM提供开环或外部编码器??墒迪?.1μm的开环分辨率??商峁┠芄辉谡婵眨?0-6 mbar)中操作的版本。PPS-20SM与MMC-200控制器兼容。