研究目的
研究通过增强氧化物层各向异性氧化实现具有眼形氧化孔径的单横模单偏振垂直腔面发射激光器(VCSELs)的方法。
研究成果
该研究成功展示了采用眼形氧化孔径的单横模单偏振垂直腔面发射激光器（VCSEL）。这种增强型各向异性氧化方法为控制VCSEL的偏振和模式特性提供了一种可行且有效的途径，在光子器件领域具有潜在应用价值。
研究不足
该研究受限于各向异性氧化所需的特定条件以及可实现氧化物孔径的尺寸。该方法在大规模制备及其他材料体系中的适用性仍有待探索。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过增强AlAs层的各向异性氧化，设计了具有眼形氧化孔径的VCSEL。方法包括控制氧化条件以实现不同晶向的氧化速率各向异性。
2：样本选择与数据来源：
制备了不同氧化时间的VCSEL样本，以研究氧化孔径尺寸对偏振和模式控制的影响。
3：实验设备与材料清单：
研究使用了MOVPE生长的890 nm VCSEL晶圆、AlAs氧化层及感应耦合等离子体（ICP）进行台面定义。
4：实验流程与操作步骤：
过程包括定义圆形台面、在受控条件下氧化AlAs层，以及测量所制VCSEL的偏振和模式特性。
5：数据分析方法：
通过测量正交偏振抑制比（OPSR）和单模抑制比（SMSR）来评估VCSEL性能。
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Yokogawa AQ6370D spectrometer
AQ6370D
Yokogawa
Used to measure the high-resolution lasing spectra of the VCSEL.
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VCSEL wafer
890 nm
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Used as the base material for fabricating the VCSEL with an eye-shaped oxide aperture.
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AlAs oxide layer
70 nm
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Used for selective oxidation to create the eye-shaped oxide aperture.
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Glan-Thompson polarizer
Not provided
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Used to measure the polarization characteristics of the VCSEL.
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