研究目的
通过引入激光掺杂选择性发射极（LDSE）技术，进一步提高PERC太阳能电池的效率并降低成本。
研究成果
优化扩散过程后获得了合适的方阻、发射极深度和表面浓度，从而显著提升了效率、开路电压（Voc）和短路电流密度（Jsc）。进一步提高激光均匀性和对准精度可以增强激光掺杂选择性发射极（LDSE）太阳能电池的效率。
研究不足
实验中使用的激光器并不特别适合SE工艺，导致激光光斑不均匀，丝网印刷的指状电极与重掺杂区域对位不佳，从而影响了填充因子。
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AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15） - 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15） - 基于激光掺杂选择性发射极的PERC太阳能电池效率提升
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AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15） - 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15） - 基于激光掺杂选择性发射极的PERC太阳能电池效率提升
DOI：10.1063/1.5123838
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
近年来，高效太阳能电池在市场上具有强劲竞争力，其中p型PERC太阳能电池是领先电池制造商的主流产品。为进一步提升效率并降低成本，激光掺杂选择性发射极（LDSE）技术作为一项前景广阔的工艺被引入量产线。本研究采用LDSE技术制备了高效PERC太阳能电池：首先通过调整扩散工艺获得最佳方阻值（115±5 Ω/□），使效率提升0.11%；随后优化得到选择性发射极的最佳扩散剖面——当表面浓度约3.0×102?原子/cm3且发射极深度为0.32μm时，实现光电参数最优增益：效率(Eff)提升0.18%、开路电压(Voc)提升6.7mV、短路电流密度(Jsc)提升0.25mA/cm2。EQE测试表明引入LDSE结构可改善短波段光谱响应；Correscan测量显示由于横向传输电阻，选择性发射极电池的前端接触电阻略高于参比电池。通过优化激光均匀性及丝网印刷栅线与重掺杂区的对准度，LDSE太阳能电池效率有望进一步提升。
作者：
Fengxiu Miao，Shude Zhang，Weifei Lian，Baoxing Zhao，Qingzhu Wei
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