研究目的
开发一种新型非接触式测量方法，用于监测热激光分离（TLS）工艺，实现对TLS裂纹的原位检测，确保半导体晶圆切割的高良率。
研究成果
所提出的方法能够原位检测TLS裂纹，实现工艺监控及潜在返工。后续工作需对该系统进行改进，以适应更高通量需求，并在宽晶圆条带上提升对比度值。
研究不足
该方法需要针对不同材料和划线宽度进行调整。当前设置的进给速度低于典型TLS进给速度，且对比度值随晶圆条纹尺寸变化。
中文（中国）
▾
热激光分离技术的进展：无切缝激光切割工艺中的过程监测以确保高产量
DOI：10.1016/j.procir.2018.08.056
期刊：Procedia CIRP
出版年份：2018
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
热激光分离（TLS）是一种无烧蚀、因此无切缝的激光切割技术。这项新型划片技术用于分离半导体晶圆上的微电子器件。为拓展TLS方法在更小芯片和新材料方面的应用，同时实现先进的过程监测，我们开发了一种新型非接触式TLS过程监测测量方法。该方法基于近红外（NIR）激光加热半导体晶圆，并通过非接触式温度测量分析热扩散产生的后续温度梯度。由于TLS裂纹对热流具有阻隔效应，因此可据此检测TLS裂纹。本文展示了该方法的可行性，并报告了样品尺寸、与TLS裂纹的距离以及激光设置等参数对测量的影响。
作者：
Mercedes Cerezuela Barreto，Georg Roeder，Maximilian Steinhoff，Martin Schellenberger，Anton Bauer
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“热激光分离技术的进展：无切缝激光切割工艺中的过程监测以确保高产量”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期