研究目的
研究三维激光光刻（3DLL）技术在制造无拼接缺陷微光学元件方面的潜力，从而能够生产具有光学级表面光洁度的更大、更复杂的结构。
研究成果
研究表明，在3D激光直写（3DLL）中同步线性平台与振镜扫描仪能有效制造出无缝衔接、尺寸达数毫米的功能性微光学元件。该方法为制备高质量微光学器件提供了一种简便易行的途径，在需要精确控制微尺度光场的诸多领域具有应用潜力。
研究不足
该研究承认在毫米级尺寸下开展工作存在挑战，包括开发过程中可能出现的变形问题，部分透镜中略呈椭圆形的焦斑就表明了这一点。
首页
论文列表
[IEEE 2019欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 德国慕尼黑(2019.6.23-2019.6.27)] 2019年欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 采用飞秒激光三维光刻技术实现微光学元件的无缝制造
中文（中国）
▾
[IEEE 2019欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 德国慕尼黑(2019.6.23-2019.6.27)] 2019年欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 采用飞秒激光三维光刻技术实现微光学元件的无缝制造
DOI：10.1109/cleoe-eqec.2019.8872765
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
微光学是一个快速发展的领域，在为科学和工业提供用于微观尺度光控的小型高功能工具方面展现出巨大潜力。生产此类元件的最具前景技术之一是三维激光光刻（3DLL），因其能实现自由曲面三维物体的制造，且分辨率与表面粗糙度控制可达纳米级。尽管当前已取得进展，微光学元件打印仍存在一定局限。本研究提出一种同步线性平台与振镜扫描器的方法，可快速（平移速度最高达数毫米/秒）且无缝打印具有光学级表面光洁度、整体尺寸达数毫米的功能微光学元件，包括毫米级折射微透镜、菲涅尔透镜、微棱镜及不透明孔径。这些元件均通过单次打印步骤制成，彰显了3DLL作为直接且相对简单技术在此尺寸规模生产微光学元件的强大潜力。通过定性与定量方式研究了这些元件的质量与功能，并针对该尺寸尺度作业时面临的挑战提出展望及可能的解决方案。
作者：
Dovil˙e Mackeviˇci ˉut˙e，Linas Jonuˇsauskas，Tomas Baravykas，Tomas Gadiˇsauskas，Darius Gaileviˇcius，Mangirdas Malinauskas
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“[IEEE 2019欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 德国慕尼黑(2019.6.23-2019.6.27)] 2019年欧洲激光与光电子学会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 采用飞秒激光三维光刻技术实现微光学元件的无缝制造”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期