研究目的
研究利用光子晶体结构同时提高倒装芯片氮化镓基发光二极管的光提取效率和调制带宽,以应用于高频可见光通信领域。
研究成果
与传统FCLED相比,PC-FCLED在珀塞尔因子和光提取效率方面均表现出显著提升,在高电流密度下实现了高达285 MHz的调制带宽。这表明PC-FCLED在高频可见光通信应用中具有潜力。
研究不足
研究指出,由于有效发光面积减小以及ICP工艺造成的损伤影响了载流子复合效率,PC-FCLED的光学输出功率小于FCLED。此外,ICP工艺导致的缺陷密度增加降低了辐射效率和非辐射寿命,从而影响了调制带宽和光学输出功率。
1:实验设计与方法选择:
采用时域有限差分(FDTD)法模拟光子晶体结构对倒装焊氮化镓基LED的珀塞尔因子和光提取效率的影响。
2:样品选择与数据来源:
使用峰值波长为460 nm的外延晶圆制备带光子晶体的倒装LED。
3:实验设备与材料清单:
包含用于光子晶体形成的纳米压印光刻和感应耦合等离子体(ICP),以及构建LED结构所需的各种材料。
4:实验步骤与操作流程:
制备PC-FCLED和FCLED,测量其光输出功率与正向电流-电压特性,并分析调制带宽。
5:数据分析方法:
对比仿真结果与实验数据,验证调制带宽和光提取效率的提升效果。
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