研究目的
介绍一种基于45nm CMOS SOI工艺设计制造的毫米波全差分共面波导(CPW)垂直耦合线耦合器及由其构成的反射式移相器(RTPS),该设计具有紧凑尺寸和高分辨率移相特性。
研究成果
设计的耦合器与RTPS展现出紧凑的尺寸和高效的面积利用率,具有115度的相位调谐范围及6分贝±2分贝的插入损耗?;诓罘止裁娌ǖ捡詈掀鞯腞TPS在面积方面优于其他现有最先进设计。
研究不足
由于较低Q值导致可切换电容响应,RTPS的插入损耗(IL)变化较大,可通过使用变容二极管缓解此问题,但会以降低调谐比(TR)为代价。
1:实验设计与方法选择:
该设计采用基于全差分共面波导(CPW)的垂直耦合线耦合器及工作在40 GHz中心频率的RTPS。耦合器使用45nm CMOS SOI工艺技术设计,利用差分共面波导(CPW)线实现屏蔽并最小化不必要的耦合。
2:样品选择与数据来源:
耦合器和RTPS采用45nm CMOS SOI工艺制造。测量包括使用差分探头和Keysight 67 GHz矢量网络分析仪(PNA)进行的插入损耗和相位调谐范围测试。
3:实验设备与材料清单:
用于测量的Keysight 67 GHz PNA、用于制造的45nm CMOS SOI工艺以及差分探头。
4:实验流程与操作步骤:
校准至探头尖端后,在200MHz至52 GHz频率范围内使用差分探头测量耦合器和RTPS。根据相位调谐范围和插入损耗变化评估移相器性能。
5:数据分析方法:
将偶模和奇模阻抗的模拟值与规格进行比较。通过对比测量结果与模拟结果评估性能。
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