研究目的
展示一种三维集成超表面器件,该器件可实现低串扰、偏振无关、高效率的全彩全息成像与微印刷功能,并提出一种用于数据记录、安全加密、彩色显示及信息处理的创新方案。
研究成果
这种三维集成超表面器件在全彩全息成像中展现出低串扰、高效率及偏振无关的优势。通过集成多种功能型超表面层,三维集成的概念可进一步拓展以实现更复杂的功能,这证明了超表面在多功能片上光电器件中具有巨大的应用潜力。
研究不足
实验中的串扰大于理论预测,这是由制造误差导致的。通过使用更高结构以及折射率更大的材料,可以进一步提高衍射效率。
1:实验设计与方法选择:
该装置通过将全息超表面堆叠在基于法布里-珀罗腔的单片式彩色滤光微阵列上实现。设计原理是利用超表面的超薄紧凑特性实现多任务应用。
2:样本选择与数据来源:
样本采用电子束光刻(EBL)和金属蒸镀工艺制备。彩色滤光微阵列经特殊排列后可在白光照射下形成彩色微印图案。
3:实验设备与材料清单:
制备过程使用30千伏电子束光刻系统、银层热蒸镀工艺及光刻胶旋涂工艺。材料包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、氢倍半硅氧烷(HSQ)和银。
4:实验流程与操作步骤:
制备流程包含对彩色滤光微阵列和全息超表面进行两次电子束光刻,随后进行金属蒸镀和剥离工艺。光学表征采用光学显微镜和激光二极管进行全息投影。
5:数据分析方法:
基于透射效率、串扰和衍射效率评估器件性能。通过拍摄全息图像并与仿真结果对比来评价器件表现。
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