研究目的
研究MoTe2/锗(Ge)异质结在高性能光电探测器中的高效近红外光探测。
研究成果
MoTe2/Ge异质结光电探测器展现出优异的光电性能,具有高响应度和高比探测率。引入GeO2层显著降低了暗态反向电流,同时保持了良好的光响应性能,使该MoTe2/Ge异质结构有望成为未来高性能光电探测器的理想选择。
研究不足
MoTe2/Ge异质结由于MoTe2与Ge之间势垒较低,在黑暗环境下存在较大反向电流,这限制了性能的进一步提升并增加了功耗。
1:实验设计与方法选择:
本研究涉及MoTe2/Ge和MoTe2/GeO2/Ge异质结的制备与表征,用于近红外光电探测。方法包括机械剥离法制备MoTe2、臭氧氧化法沉积GeO2层以及光刻技术进行器件图案化。
2:臭氧氧化法沉积GeO2层以及光刻技术进行器件图案化。 样品选择与数据来源:
2. 样品选择与数据来源:使用块状2H-MoTe2晶体,Ge衬底经Al2O3沉积与图案化处理。在915 nm激光照射下测量光响应。
3:实验设备与材料清单:
设备包括原子层沉积(ALD)系统、紫外光刻装置、聚二甲基硅氧烷(PDMS)辅助转移法以及Keithley 4200-SCS参数分析仪。材料包含MoTe2、Ge、Al2O3、Pt和Al。
4:Ge、Al2OPt和Al。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:过程包括在Ge上沉积Al2O3、图案化、转移MoTe2、制备电极以及在激光照射下表征器件。
5:图案化、转移MoTe制备电极以及在激光照射下表征器件。 数据分析方法:
5. 数据分析方法:从光电响应度、比探测率和响应时间三方面分析光响应特性。
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Keithley 4200-SCS
4200-SCS
Keithley
Parameter analyzer for electrical and optical properties characterization.
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Atomic Layer Deposition System
Deposition of Al2O3 on Ge substrate.
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Ultra-violet Lithography Setup
Patterning of Al2O3 into square matrix.
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