研究目的
开发一种基于微光纤探针的低测量力高精度测量系统，用于机械微零件和微孔的微观结构测量。
研究成果
通过蚀刻和CO2激光加工成功制作了光纤触控笔。涂覆疏水涂层后，触控笔与目标表面的间距缩短了约30%。耐久性测试表明，笔尖可承受高达10万次接触而不产生明显磨损，笔杆能经受超过70万次弯曲振荡。
研究不足
该研究聚焦于特定条件下微光纤探针的制备与测试。耐久性测试仅限于一定次数的接触计数和弯曲振荡。除湿度外的其他环境因素影响未作深入探究。
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使用CO2激光器制造用于微结构测量的光纤探针：高功能性与耐久性测试
DOI：10.1016/j.procir.2018.08.249
期刊：Procedia CIRP
出版年份：2018
更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要：
近年来，随着微细加工技术的进步，测量机械微小零件、微孔等微观结构的重要性日益凸显。具体而言，为提升器件功能，已提出多种微观结构测量方法。因此，我们致力于利用微型光纤探针开发具有低测量力的高精度测量系统。本研究除进行耐久性测试外，还对测头尖端的疏水涂层性能进行了测试，以防止表面力导致的测量面粘附问题。
作者：
Kosuke Uchiyama，Hiroshi Murakami，Akio Katsuki，Takao Sajima，Takahiko Yamamoto，Ryosuke Nagata，Kunitaka Fujiyoshi
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