研究目的
研究用于数字全息术的超高清显示面板发展,重点通过两种方法实现1微米像素间距:缩小TFT-LCD技术规模,以及采用相变材料搭配硅CMOS背板。
研究成果
该研究成功展示了具有3微米像素间距的反射式TFT-LCD面板的制造工艺,以及基于相变材料与硅CMOS背板的空间光调制器开发。相变材料的可扩展性表明实现1微米像素间距极具前景。未来工作包括研发新型像素架构以避免进一步缩小最小特征尺寸和沟道长度。
研究不足
主要限制在于,若直接按比例缩小特征尺寸以实现1微米像素间距,需要采用成本极高的工艺和光刻工具。此外,相变存储器材料发生相变所需的热脉冲持续时间和温度也必须精确控制。
1:实验设计与方法选择:
采用两种方案实现数字全息超高清显示面板——缩小TFT-LCD技术尺寸与使用基于硅CMOS背板的相变材料。
2:样品选择与数据来源:
制备了3微米像素间距的反射式TFT-LCD面板,并开发了基于相变材料的空间光调制器。
3:实验设备与材料清单:
i线步进光刻机、氧化物薄膜晶体管、相变材料、硅CMOS背板。
4:实验流程与操作步骤:
制备3微米像素间距的空间光调制器面板,开发基于相变材料及硅CMOS背板的空间光调制器,展示重建全息图像。
5:数据分析方法:
观察重建全息图像并评估视角范围与运动视差效果。
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