研究目的
研究超快激光束与丝网印刷银（Ag）纳米浆料薄膜在应变传感器中的相互作用。
研究成果
该研究成功探究了超快激光束与丝网印刷银纳米浆料薄膜之间的相互作用，确定了烧蚀阈值以及激光参数对线宽、深度和电学性能的影响。针对具有横向和纵向电极结构的应变传感器图案化，确定了最佳激光加工参数。
研究不足
该研究聚焦于超快激光束与丝网印刷银纳米浆料薄膜之间的相互作用，但该工艺在工业化应用中的可扩展性可能存在局限，且针对不同薄膜厚度和材料需进一步优化激光参数。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用二极管泵浦固态超快激光加工系统对银纳米浆料薄膜进行图案化处理。通过调整激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度等加工参数，研究薄膜的烧蚀阈值、线宽、深度及电学特性。
2：样品选择与数据来源：
使用玻璃基板上丝网印刷的银纳米浆料薄膜。通过三维激光共聚焦显微镜及配备能谱仪的扫描电镜对激光处理前后的薄膜进行表征。
3：实验设备与材料清单：
包括超快激光加工系统（Advanced Optowave公司AOPico 532-5-100型）、振镜系统（Raylase公司MS-II-14型）、三维激光共聚焦显微镜（基恩士VK-X200系列）以及四探针测试仪（QUATEK CH-5601Y型）。
4：实验流程与操作步骤：
沿银薄膜上的线形图案扫描激光束，通过改变激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度进行加工。测量并分析烧蚀阈值、线宽、深度及方阻值。
5：数据分析方法：
基于激光能量与能量密度公式计算烧蚀阈值和线宽，方阻值通过四探针测试仪直接测量获得。
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ultrafast laser processing system
AOPico 532-5-100
Advanced Optowave Corporation
Used for patterning Ag nanopaste ?lms with adjustable laser parameters.
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galvanometer system
MS-II-14
Raylase AG
Used for controlling the scanning path of the laser beam.
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3D laser scanning confocal microscope
VK-X200 series
Kyence
Used for measuring the surface morphology and 3D topography of laser-ablated lines.
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four-point probe instrument
CH-5601Y
QUATEK
Used for measuring the sheet resistance of Ag nanopaste ?lms.
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