研究目的
研究聚合物衍生SiAlCN陶瓷的飞秒激光脉冲烧蚀特性，以理解激光-材料相互作用及加工特性。
研究成果
研究表明，飞秒激光脉冲烧蚀技术能有效实现SiAlCN陶瓷的精密加工，在特定能量通量和转速条件下可获得最优效果。该发现有助于理解PDCs材料中的激光-材料相互作用机制，并为精密加工实践提供指导。
研究不足
该研究的局限性在于所使用的特定激光参数和材料，以及在高能量通量下可能出现的热影响区和裂纹。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用飞秒激光脉冲对SiAlCN陶瓷进行精密加工，重点研究激光能量密度和转速的影响。
2：样品选择与数据来源：
实验使用制备并抛光后的SiAlCN陶瓷晶圆。
3：实验设备与材料清单：
采用配备再生放大Yb掺杂固态超快激光系统的四轴超快激光微加工仪器（LMM-50）。
4：实验步骤与操作流程：
研究在不同激光参数下加工单圆线、盲孔和通孔。
5：数据分析方法：
使用SEM、EDS、XPS、三维光学轮廓仪和微型计算机断层扫描进行微观结构分析。
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