研究目的
通过飞秒激光辐照及后续低温热退火，研究金属/陶瓷纳米多层膜（NMLs）内部金属纳米层向表面可控固态金属迁移的过程。
研究成果
研究表明，飞秒激光辐照可用于定向控制金属/陶瓷纳米多层膜中的固态金属传输，从而能在相对较低温度下制备图案化表面纳米结构。该方法适用于铜/氮化铝和银/氮化铝纳米多层膜，有望应用于光电器件领域。
研究不足
本研究仅限于Cu/AlN和Ag/AlN纳米多层膜体系，以及激光辐照和退火处理对这两种特定系统的影响。未涉及该工艺在其他金属/陶瓷体系中的适用性及规?；τ梦侍?。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用飞秒激光辐照调控金属/陶瓷纳米多层膜（NMLs）的微观结构与应力状态，随后通过热退火诱导金属外流。
2：样品选择与数据来源：
金属/陶瓷NMLs通过磁控溅射沉积于蓝宝石衬底上。
3：实验设备与材料清单：
使用Ti:蓝宝石超快激光系统、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）和聚焦离子束（FIB）进行表征。
4：实验流程与操作步骤：
NMLs经激光辐照后，在可控温度下于空气中退火处理。
5：数据分析方法：
通过SEM和TEM分析微观结构，采用COMSOL Multiphysics软件模拟等离子体效应。
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获取完整内容-
Focused ion beam
FEI Helios 660
FEI
Preparing the cross sections at selected regions and TEM lamellas.
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Transmission electron microscope
JEOL2200FS
JEOL
Characterizing the microstructures of as-prepared lamella.
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COMSOL Multiphysics
4.3b
COMSOL
Simulating the plasmonic effect induced electric field intensity in metal/ceramic NML.
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Olympus Optical microscope
Olympus BX51
Olympus
Used to introduce the laser beam for irradiation.
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Scanning electron microscopy
Zeiss Supra 55
Zeiss
Characterizing the surface structures of the annealed NMLs.
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Ti: sapphire ultrafast laser system
Generating 35 fs, 800 nm laser pulses for laser irradiation.
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