研究目的
提出一种无通孔、经济高效且实用的解决方案，通过在磷化铟衬底上制备钉床结构作为毫米波反射边界，从而实现矩形波导。
研究成果
所提出的无通孔导引结构为InP衬底提供了一种高效且经济实用的解决方案，能够在钉床架构中以更少的制造步骤实现天线、滤波器和功率合成器等多种无源元件的设计。
研究不足
InP衬底的各向同性刻蚀轮廓限制了无源器件的实现，且未经减薄的InP衬底典型厚度不适合H波段的微带结构。
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[IEEE 2019年第44届国际红外、毫米波和太赫兹波会议(IRMMW-THz) - 法国巴黎(2019.9.1-2019.9.6)] 2019年第44届国际红外、毫米波和太赫兹波会议(IRMMW-THz) - 磷化铟衬底上的无通孔微带至矩形波导过渡结构
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DOI：10.1109/irmmw-thz.2019.8874316
出版年份：2019
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
磷化铟（InP）是实现毫米波频段有源器件的常用材料之一。InP衬底各向同性刻蚀特性限制了无源器件的制备，因此需要采用昂贵且损耗较高的混合集成平台。本文提出一种无需通孔、经济高效的InP衬底解决方案。通过所提出的平面化方案证明：采用钉床结构作为毫米波入射的反射边界，可在InP衬底上实现矩形波导。作为概念验证，在H波段（220-320 GHz）实现了微带线到矩形波导的过渡结构，在30 GHz带宽内回波损耗达到-18dB。
作者：
Bilal Hussain，Giovanni Serafino，Paolo Ghelfi，Antonella Bogoni，Andreas St?hr
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