研究目的
利用传统热压印薄膜实现具有传感功能的结构,特别是通过导电结构(应变片,DMS)的电阻变化来检测机械量(机械应力和应变)。
研究成果
从常规热压箔可以制造出具有导电性且对机械拉伸敏感的结构。其电阻对机械拉伸的敏感性可与传统箔式应变片相媲美。但需注意其较强的温度依赖性。
研究不足
作为应变片使用时,必须考虑所研究薄膜对温度的强烈依赖性。
1:实验设计与方法选择:
采用双级激光工艺对热烫印箔进行结构化处理。
2:样品选择与数据来源:
基于均匀的电阻面阻特性,选用HS19-3型热烫印箔。
3:实验设备与材料清单:
标注激光器F-9020、涡流检测仪SRM-14TS、电桥放大器SCP 5271、源测量单元SMU 2450。
4:涡流检测仪SRM-14TS、电桥放大器SCP 源测量单元SMU 2450。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:箔材激光结构化、基底贴合、接触连接、电阻变化及温度依赖性测量。
5:数据分析方法:
线性拟合确定k因子,分析本征电阻的温度依赖性。
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SMU 2450
Tektronix Inc.
Auswertung der Widerstands?nderung
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Beschriftungslaser
F-9020
KBA Metronic GmbH
Strukturierung der Hei?pr?gefolie
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SRM-14TS
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Messung des Fl?chenwiderstands
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Erg?nzung zur Wheatstone-Viertelbrücke, Verst?rkung der Brückenausgangsspannung
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