研究目的
研究退火处理对脉冲激光沉积法制备的BaPbO3(BPO)薄膜结构和电学性能的影响。
研究成果
BPO薄膜的结构和电学性能受退火温度和氧环境显著影响。退火会提高电阻率和带隙,降低载流子浓度,随着退火温度升高,薄膜趋于绝缘特性。
研究不足
该研究仅限于特定条件(温度和氧环境)下退火对BPO薄膜的影响,未探讨其他参数或衬底的影响。
1:实验设计与方法选择:
采用传统固相反应法制备用于脉冲激光沉积(PLD)的BPO陶瓷靶材。薄膜在熔融石英基底上以600℃和0.1毫巴氧分压条件下制备。
2:1毫巴氧分压条件下制备。 样品选择与数据来源:
2. 样品选择与数据来源:使用化学计量比的BaCO?和PbO制备靶材。
3:实验设备与材料清单:
Nd:YAG激光器(Spectra Physics公司GCR 150型)、帕纳科X'Pert Pro高分辨X射线衍射仪、Veeco触针式轮廓仪、Ecopia霍尔测量系统(HMS 3000)、Jasco 570紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM,安捷伦科技5500型)。
4:0)、Jasco 570紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM,安捷伦科技5500型)。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:薄膜沉积后保温30分钟,冷却至600℃,随后在过量氧气环境下分别于400℃、500℃和600℃进行退火处理。
5:0℃、500℃和600℃进行退火处理。 数据分析方法:
5. 数据分析方法:X射线衍射分析、霍尔测量、光学性能测试、原子力显微镜分析。
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XRD
X(cid:2)Pert Pro HRXRD
Panalytical
Structural analysis of thin films
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UV Spectrophotometer
570
Jasco
Optical properties measurement
-
Atomic force microscope
5500
Agilent Technologies
Microstructure analysis of thin films
-
Nd:YAG laser
GCR 150
Spectra Physics INC
Ablation of BPO thin films
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Stylus profiler
Veeco
Thickness measurement of thin films
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Hall measurement setup
HMS 3000
Ecopia
Electrical properties evaluation
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