研究目的
研究利用超快激光进行三维结构微加工以实现表面功能化，重点通过采用多激光光斑来提高分辨率并缩短加工时间。
研究成果
研究表明，采用多光斑的超快激光微加工能显著提高材料功能微结构的加工速率并缩短制造时间。该方法在工业应用中具有进一步优化和拓展的潜力。
研究不足
该研究受限于声光调制器的技术约束以及调制器晶体、光束传输光学元件和聚焦光学元件的尺寸，这些因素限制了可有效利用的激光光斑最大数量。
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多激光光斑的超快激光微加工
DOI：10.1016/j.procir.2018.08.084
期刊：Procedia CIRP
出版年份：2018
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
在对表面进行功能化的三维微结构直接加工中，超短脉冲激光器提供了所需的分辨率和质量。分辨率的提高伴随着加工时间的增加，这不可避免地需要多个光斑。本文采用一种新开发的高紧凑型皮秒激光器（重复频率高达8 MHz，平均功率为500 W），通过衍射元件将其分配到一个16通道声光调制器上，该调制器可单独调节16个光斑中的每一个。典型的基于激光的微加工方法得到了改进，从而实现了一种加工技术，在这种技术中，一次走刀即可加工16个不同的层。进一步地，可将4个这样的高紧凑型光束传输系统集成到一个圆柱形微加工系统中，以产生至少64个独立作用的激光光斑。本文展示了加工出的不同功能结构。
作者：
Bruening S.，Du K.，Jarczynski M.，Jenke G.，Gillner A.
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