研究目的
通过解决扩散问题以实现均匀的方块电阻，优化硼旋涂掺杂剂（BSoD）作为n型太阳能电池中p+发射极形成的替代硼源的使用。
研究成果
BSoD扩散发射极通过受控工艺步骤可实现≤60Ω/□的方阻值，在n型太阳能电池应用中展现出良好前景。去除BRL层能提升少数载流子寿命，PC1D模拟显示其潜在效率可达14.8%，表明BSoD可作为BBr3的可行替代方案。
研究不足
该研究聚焦于无纹理且未进行介电钝化的裸发射极表面，表明通过这些改进措施有望进一步提升效率。
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n型直拉单晶硅太阳能电池发射极形成过程中硼自旋掺杂（BSoD）扩散的优化
DOI：10.1016/j.matpr.2018.11.089
期刊：Materials Today: Proceedings
出版年份：2018
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
硼自旋掺杂剂（BSoD）是n型太阳能电池中形成p+发射极的BBr3液态掺杂剂的替代硼源。本工作采用不同工艺控制步骤降低BSoD扩散问题，以实现p+发射极方阻均匀性。通过控制工艺步骤消除扩散过程中形成的硼（B）沉淀后，将发射极方阻优化至≤60Ω/□且波动小于±5Ω/□。SIMS分析显示对应结深小于800nm。所有实验均采用直拉法n型c-Si晶圆，在受控工艺步骤下有效少数载流子寿命提升超过2倍。无钝化条件下实测太阳电池开路电压（Sun's Voc）与隐含开路电压（implied Voc）范围为575-600mV。PC1D模拟表明无钝化太阳电池效率达14.8%，证明BSoD是n型c-Si太阳能电池p+发射极形成的潜力掺杂源。
作者：
Bandana Singha，Chetan Singh Solanki
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