研究目的
采用飞秒脉冲激光沉积法研究高性能类金刚石(DLC)薄膜在硅基底上的沉积，通过氧气环境和硅掺杂方法提升其透光率、硬度和附着力。
研究成果
飞秒脉冲激光沉积结合氧气环境和硅混合工艺，有效提升了DLC薄膜在硅基底上的透光率、硬度和附着力。该薄膜满足光学工程应用要求。
研究不足
该研究聚焦于类金刚石碳膜在硅基底上的沉积及其光学与机械性能。该方法在大面积沉积方面的可扩展性以及飞秒激光系统的成本效益可能是潜在限制因素。
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脉冲激光沉积法在硅基衬底上制备高性能类金刚石薄膜的研究
DOI：10.1088/1755-1315/371/4/042014
期刊：IOP Conference Series: Earth and Environmental Science
出版年份：2019
更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要：
采用飞秒脉冲激光沉积类金刚石薄膜。通过氧气环境和硅掺杂的方法，制备出无氢类金刚石薄膜，其透光性、硬度、附着力和稳定性均优于化学气相沉积或传统脉冲激光沉积（PLD）法制备的薄膜。该薄膜在3~5微米波段的透光率≥91.7%，硬度达到40~50GPa。所有薄膜均通过高温、低温、盐雾及重摩擦测试，样品性能满足光学工程需求。
作者：
Wang Shuyun，Liu Xu，Liu Yi，Zhang Weixin，Li Zhuolun，Guo Yanlong
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