研究目的
研究铝纳米颗粒对α-Ga2O3日盲光电探测器性能的增强效应。
研究成果
该研究成功证明,铝纳米等离子体增强技术能显著提升α-氧化镓日盲光电探测器的响应度。研究阐明了紫外光照射下表面等离子体共振产生局域场增强的物理机制,并为这种增强效应提供了直接证据。该发现有助于日盲光电探测器的设计与制备。
研究不足
该研究聚焦于铝纳米颗粒对α-氧化镓光电探测器性能的增强效应,但未涉及这些器件在实际应用中的长期稳定性和可扩展性问题。
1:实验设计与方法选择:
本研究在蓝宝石衬底上制备了具有叉指结构的纳米等离子体增强α-Ga2O3日盲光电探测器,通过在器件表面引入铝纳米颗粒来提高响应度。
2:样品选择与数据来源:
采用热壁气氛喷雾化学气相沉积系统在c面蓝宝石衬底上生长了600纳米厚的α-Ga2O3薄膜。
3:实验设备与材料清单:
设备包括Keithley 4200半导体分析仪、级联探针台、单色仪以及集成斩波器的锁相放大器;材料包括用于肖特基金属-半导体-金属结构的Ni/Au和铝纳米颗粒。
4:实验步骤与操作流程:
通过光刻定义叉指电极,并采用电子束蒸发在α-Ga2O3上沉积Ni/Au;在光电探测器有源区沉积铝以形成纳米颗粒。
5:数据分析方法:
测量光谱响应度,并通过开尔文探针力显微镜原位扫描模式测量表面电势。
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Keithley 4200 semiconductor analyzer
4200
Keithley
Carry out I-V measurement
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monochromator
Measure spectral responsivity
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lock-in amplifier
Integrated with a chopper for spectral responsivity measurement
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Atom force microscopy
NT-MDT-NTEGRA-Prima
NT-MDT
Characterize the surface morphology
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Kelvin probe force microscopy
NT-MDT-NTEGRA-Prima
NT-MDT
Reveal the surface potential of Al NPs on the α-Ga2O3 epilayer
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