研究目的
研究脉冲激光沉积法制备的Yb:LuAG双包层平面波导及其激光性能。
研究成果
该研究成功展示了通过在YAG衬底上进行异质外延脉冲激光沉积（PLD）制备多层LuAG/Yb:LuAG/LuAG晶体波导。该波导具有良好的结晶性和波导特性。实现了Yb:LuAG双包层平面波导的激光振荡，输出功率为3.3 W，斜率效率为20%。该研究强调了通过进一步优化实现紧凑型高功率波导激光器和放大器的潜力。
研究不足
1.2 dB cm?1的波导传播损耗限制了激光器性能。光束质量较差，主要与薄膜中颗粒/缺陷的散射以及端面抛光不完美有关。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过非掺杂钇铝石榴石衬底上的异质外延脉冲激光沉积技术，制备了以掺镱为核心的多晶层状镥铝石榴石平面波导。
2：样本选择与数据来源：
采用10×10×1毫米<100>取向的YAG衬底进行沉积。
3：实验设备与材料清单：
使用波长为248纳米的KrF准分子激光器进行沉积，衬底加热采用CO?激光束。
4：实验步骤与操作流程：
沉积在2×10?2毫巴氧压环境下进行，生长完成后对波导结构的两个相对晶面进行平面平行抛光。
5：数据分析方法：
对器件进行了物理与光学表征，包括X射线衍射分析、表面形貌研究及折射率测量。
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Bruker D2 Phaser X-ray diffractometer
D2 Phaser
Bruker
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P-16 +
KLA Tencor
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