研究目的
通过液相飞秒激光加工工程化晶体硅表面，实现分级微纳结构与非晶化。
研究成果
通过调节激光加工参数，在乙醇中进行飞秒激光辐照可在晶体硅表面诱导出多种微/纳结构，包括类椭圆光滑结构、珊瑚状结构、波纹状结构和波浪状结构。同时还能控制硅的非晶化，展现出在光电子学领域的潜在应用价值。
研究不足
该研究聚焦于飞秒激光在乙醇中对晶体硅的加工效应，且结果可能因不同材料或液体环境而异。非晶化与形貌变化对激光参数敏感，需精确控制。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用飞秒激光脉冲（800 nm，120 fs，1 kHz）照射浸没在乙醇中的晶体硅，探究激光脉冲能量及制备参数（扫描速度与叠加写入）对形貌与非晶化的影响。
2：样品选择与数据来源：
使用市售双面抛光的P型（硼掺杂）<100>晶向硅片作为基底。
3：实验设备与材料清单：
采用中心波长800 nm、脉宽120 fs、重复频率1 kHz的线偏振飞秒脉冲激光器（UpTek Solutions，型号：Phidia-c），激光束通过10倍物镜（NA=0.28，WD=34.0 mm）聚焦。
4：28，WD=0 mm）聚焦。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：通过λ/2波片与格兰-泰勒方解石偏振器组合调节激光脉冲能量，相邻写入圆环间距与写入速度由振镜扫描仪控制。
5：数据分析方法：
采用场发射扫描电子显微镜（SEM，日立S-4800）观察形貌与层级微纳结构，原子力显微镜（AFM）分析表面形貌，微区拉曼成像光谱仪（DXRxi）记录非晶化特征。
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field emission scanning electron microscope
S-4800
Hitachi
Investigation of morphology and hierarchical micro/nanostructure
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femtosecond pulse laser
Phidia-c
UpTek Solutions
Irradiation source for modifying silicon surface
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atomic force microscopy
SPA400
Investigation of topography
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micro Raman imaging spectrometer
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Recording amorphization
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