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亚微弧度精度激光指向中倾斜正交双棱镜逆解的研究

DOI:10.1109/jlt.2020.2973218 期刊:Journal of Lightwave Technology 出版年份:2020 更新时间:2025-09-19 17:13:59
摘要: 本文报道了采用立体光刻技术制造的微型化、内部进样式聚合物电喷雾发射器阵列的设计、制备与表征。与硅基MEMS多路复用电喷雾源相比,该自由成形增材制造工艺使单器件制备成本(从数千美元降至数十美元)和制备时间(从数月缩短至数小时)均降低两个数量级,制造基础设施成本(从数百万美元降至数万美元)同样降低两个数量级。这些3D打印器件包含其他微制造方法难以实现的特征结构(如锥形通道和螺纹孔)。通过优化制备工艺,成功制备出直径小至300微米、高10毫米的独立直立实心柱体,以及内径小至400微米、壁厚仅150微米、长12毫米的直管。研究团队制作了最多包含236个内部进样电喷雾发射器(单位面积1平方厘米内集成236个发射器)的阵列,其发射器密度较聚合物材质多路复用内部进样电喷雾源的最佳报道值提升两倍,阵列尺寸扩大六倍。不同阵列尺寸器件的表征结果表明发射器工作状态均匀一致。
作者: Luis Fernando Velásquez-García
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研究概述 实验方案 设备清单

报道采用立体光刻技术制造的微型化、内部供液、聚合物电喷雾发射器阵列的设计、制备与表征,旨在相比硅基MEMS多路电喷雾源显著降低制备成本、时间成本及基础设施成本。

该研究成功展示了利用立体光刻技术制造微型化聚合物电喷雾发射器阵列,在成本和制造时间上实现了显著降低。这些阵列表现出均匀的发射器工作性能,潜在应用于低温无掩模微/纳米制造、海水淡化和质谱分析领域。

SLA 3D打印机的分辨率限制了发射极的最小特征尺寸,且打印聚合物的机械性能可能不适用于所有应用场景。此外,该研究未详细探讨电极与发射极阵列的集成问题。

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