研究目的
研究飞秒激光微加工技术在制备用于气体高次谐波产生的复杂玻璃微器件中的应用，旨在实现对微米级相互作用通道内气体密度的精确控制并提高谐波产生效率。
研究成果
飞秒激光微加工玻璃微芯片展现出高效发射由高次谐波产生（HHG）形成的极紫外辐射，其性能超越了基于脉冲气体射流的标准产生配置。FLICE技术的灵活性支持为HHG定制不同微芯片，为未来高次谐波产生光束线的微型化铺平了道路。
研究不足
该研究受限于飞秒激光微加工的技术约束以及谐波生成过程中实现准相位匹配条件的复杂性。需要进一步优化微芯片几何结构并控制气体密度。
1：实验设计与方法选择：
采用飞秒激光微加工技术制备用于气体高次谐波产生（HHG）的玻璃微器件，使用FLICE技术构建三维几何结构的微流控网络。
2：样品选择与数据来源：
选用熔融石英样品制备微器件，在充有气体的微通道中产生高次谐波。
3：实验设备与材料清单：
使用飞秒激光器（Satsuma，Amplitude Systemes S.A.）、63×显微镜物镜（LD-plan Neofluar，蔡司）、高精度三维运动系统（Aerotech，ANT）以及含20%氢氟酸的水溶液超声槽。
4：实验流程与操作步骤：
将激光束聚焦于熔融石英样品内部，随后按预设轨迹移动样品相对激光束位置。激光辐照后，将样品浸入氢氟酸溶液进行刻蚀。
5：数据分析方法：
采用Comsol Multiphysics软件对器件内气体流动进行建模，通过光谱仪获取高次谐波光谱并进行解析。
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microscope objective
LD-plan Neofluar
Zeiss
Used to focus the femtosecond laser beam inside the fused silica sample.
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3D movement system
ANT
Aerotech
Used to move the glass sample with respect to the laser beam.
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femtosecond laser
Satsuma
Amplitude Systemes S.A.
Used for femtosecond laser micromachining of glass devices.
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vacuum compatible detector
VID140
Photek
Used to acquire the dispersed HHG signal.
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CCD camera
Ascent A2150
Apogee
Used to acquire the image displayed on the phosphor screen.
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