研究目的
研究硅衬底改性对用于太阳能电池的BaSi2薄膜结晶质量、光学及电学性能的影响。
研究成果
研究证实，在改性硅衬底上蒸镀的BaSi2薄膜在薄膜太阳能电池应用方面具有良好前景，其中经过8秒优化的蚀刻时间展现出最佳的晶体质量、光学性能、电学性能、载流子寿命和光电响应度。
研究不足
该研究受限于BaSi2薄膜的厚度（170纳米），这影响了少数载流子寿命。蒸发法制备的BaSi2薄膜的晶体质量需要进一步改进以提高光电响应度。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用热蒸发法在改性硅衬底上生长BaSi2薄膜，硅衬底表面改性通过金属辅助化学刻蚀法实现。
2：样本选择与数据来源：
使用三种硅衬底进行多项表征。
3：实验设备与材料清单：
采用扫描电镜（JEOL JSM-7001-FA）、拉曼光谱仪（东京仪器Nanofinder）、X射线衍射仪（布鲁克Discover D8）、分光光度计（JASCO Ubest V-570）及μ-PCD法（神户制钢LTA-1512EP）。
4：8）、分光光度计（JASCO Ubest V-570）及μ-PCD法（神户制钢LTA-1512EP）。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：衬底经清洗和改性处理后生长BaSi2薄膜，对其结晶质量、光学特性、电学特性、载流子寿命及光电响应进行表征。
5：数据分析方法：
通过拉曼光谱中A1模的半高宽评估结晶质量，光学特性由反射率和透射率光谱推导，电学特性通过霍尔效应测量确定。
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获取完整内容-
Raman spectroscopy
Nanofinder
Tokyo Instruments
Evaluation of the crystalline properties of BaSi2 films.
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XRD
Discover D8
Bruker
Analysis of crystalline properties of BaSi2 films.
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Spectrophotometer
Ubest V-570
JASCO
Measurement of the reflectance and transmittance spectra of the samples.
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SEM
JSM-7001-FA
JEOL
Observation of surface and interface morphologies as well as thickness of the evaporated films.
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μ-PCD method
LTA-1512EP
KOBELCO
Evaluation of excess-carrier decay kinetics.
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