研究目的
利用高分辨透射电子显微镜和拉曼光谱研究低温量子点覆盖的Ge/Si异质结构中间层的形成。
研究成果
研究得出结论:量子点上方的应力通过形成混合成分的薄边界层得以释放,其中锗主要从锗小丘的{105}晶面扩散进入硅基体。研究发现,应力诱导扩散的硅覆盖临界厚度介于5至8纳米之间。
研究不足
该研究受限于拉曼光谱的空间分辨率,其分辨率过低而无法直接区分纳米级物体。此外,由于局部薄片弯曲导致图像失真,对量子点层间具有薄间隔层的多层结构的高分辨透射电镜(HRTEM)图像分析未能成功。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用高分辨率透射电镜(HRTEM)图像结合峰值配对算法,并辅以拉曼光谱技术,研究含低温锗量子点的Ge/Si(001)结构中的晶格畸变。
2:样本选择与数据来源:
样品为超高真空(UHV)条件下通过分子束外延(MBE)生长的Si基Ge量子点层状结构。
3:实验设备与材料清单:
设备包括用于获取HRTEM图像的Libra-200 FE HR仪器,以及用于采集拉曼光谱的LabRAM HR Evolution共聚焦扫描拉曼显微镜。
4:实验流程与操作步骤:
通过氩等离子体离子处理获得无缺陷薄片层后采集HRTEM图像,拉曼光谱在不同入射激光发射功率下记录。
5:数据分析方法:
采用峰值配对算法分析HRTEM图像中独立原子键长度,拉曼光谱通过高斯或沃伊特函数解卷积处理。
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