研究目的
研究制造工艺变化对无源硅光子器件和互连的影响,并为此开发一种计算高效且精确的自下而上方法。
研究成果
所提出的自下而上方法在计算上高效且准确,适用于研究制造工艺变化对无源硅光子器件和互连的影响。该方法能够在工艺变化条件下评估大规模硅光子集成电路,而采用耗时的数值模拟则不可行。
研究不足
该研究仅考虑被动硅光子器件和互连,未计入有源器件或SPI中的其他类型噪声。
研究目的
研究制造工艺变化对无源硅光子器件和互连的影响,并为此开发一种计算高效且精确的自下而上方法。
研究成果
所提出的自下而上方法在计算上高效且准确,适用于研究制造工艺变化对无源硅光子器件和互连的影响。该方法能够在工艺变化条件下评估大规模硅光子集成电路,而采用耗时的数值模拟则不可行。
研究不足
该研究仅考虑被动硅光子器件和互连,未计入有源器件或SPI中的其他类型噪声。
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