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[IEEE 2018年亚洲通信与光子学会议(ACP) - 杭州 (2018.10.26-2018.10.29)] 2018年亚洲通信与光子学会议(ACP) - 利用光学反馈方案降低锁模半导体激光器的射频线宽和时序抖动

DOI：10.1109/ACP.2018.8596174 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:19:57
摘要： 本文报道了采用立体光刻技术制造的微型化、内部馈电式聚合物电喷雾发射器阵列的设计、制备与表征。与硅基MEMS多路复用电喷雾源相比，这种自由成形增材制造工艺使单台设备的制造成本（从数千美元降至数十美元）和制造时间（从数月缩短至数小时）均降低两个数量级，制造基础设施成本也降低两个数量级（从数百万美元降至数万美元）。这些3D打印器件具备其他微加工方法难以实现的特征，例如锥形通道和螺纹孔。通过优化制备工艺，成功制备出直径小至300微米、高10毫米的独立直立实心柱体，以及内径小至400微米、壁厚仅150微米、长12毫米的直管。研究团队制作了最多包含236个内部馈电电喷雾发射器（每平方厘米236个发射器）的阵列，其发射器密度较聚合物材质多路复用内部馈电电喷雾源的最佳报道值提升两倍，阵列尺寸扩大六倍。不同阵列尺寸器件的表征结果表明其发射器工作状态均匀稳定。
作者： Luis Fernando Velásquez-García
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

报道采用立体光刻技术制造的微型化、内部馈送式聚合物电喷雾发射器阵列的设计、制备与表征，旨在相比传统硅基MEMS多路复用电喷雾源，在降低制备成本与时间的同时提高发射器密度和阵列尺寸。

研究成果

该研究成功展示了利用立体光刻技术制造小型化、内部进料的聚合物电喷雾发射器，在成本和制造时间上实现了显著降低。与以往的聚合物基电喷雾源相比，这些器件表现出均匀的发射器工作状态，并具有更高的发射器密度和阵列尺寸。这种方法为电喷雾应用提供了一种多功能且经济高效的替代方案，可取代传统的硅微机电系统（MEMS）制造方法。

研究不足

SLA 3D打印机的分辨率限制了发射极的最小特征尺寸，可能影响发射极阵列的均匀性和密度。此外，所打印聚合物的机械性能可能并不适用于所有应用场景。

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