研究目的
研究利用激光诱导周期性表面结构（LIPSS）作为模板，选择性生长有序的氧化锌微纳结构。
研究成果
该研究表明，通过VS方法在基底上生成排列良好、质量优异的半导体微纳结构具有可行途径，其中激光诱导的局部无序效应（可能还包括表面粗糙度的轻微增加）降低了晶格失配的影响。
研究不足
该研究仅限于使用Si-(100)衬底和特定激光条件，未探究其他衬底或激光参数的影响。
1：实验设计与方法选择
使用飞秒激光脉冲在硅(100)衬底上制备了不同类型的LIPSS。通过气-固(VS)法在这些衬底上沉积ZnO。
2：样品选择与数据来源
选用本征硅(100)制备激光结构化衬底。以ZnS粉末为前驱体生长ZnO结构。
3：实验设备与材料清单
飞秒激光器(掺镱光纤激光器，1030 nm，340 fs)、卧式管式炉、ZnS粉末(Sigma-Aldrich，99.99%纯度)、扫描电镜(FEI Inspect S，LEICA 440)、显微拉曼光谱仪(Horiba Jobin Yvon LABRAM-HR)。
4：实验流程与操作步骤
在不同条件下制备激光结构化衬底。在900°C氩气流中生长ZnO。采用扫描电镜、显微拉曼光谱和阴极发光进行表征。
5：数据分析方法
通过分析扫描电镜图像和拉曼光谱评估ZnO微/纳组装体的形貌与结构特征。
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获取完整内容-
Yb-doped fiber laser
Used to induce the formation of LIPSS on the surface.
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FEI Inspect S SEM
FEI Company
Used for emissive mode measurements.
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LEICA 440 SEM
Leica Cambridge Ltd
Used for emissive mode measurements.
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Horiba Jobin Yvon LABRAM-HR
HORIBA Jobin Yvon
Used for micro-Raman measurements.
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ZnS powders
Sigma–Aldrich
Used as precursor for ZnO growth.
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