研究目的
研究工作压力对溅射制备Sb2Se3薄膜太阳能电池器件性能的影响。
研究成果
采用高、低工作压强双层结构溅射法获得了高质量Sb2Se3薄膜，该工艺改善了结晶质量和择优取向，同时有效抑制了分流漏电现象，最终制备出光电转换效率达5.5%的冠军器件。
研究不足
该研究聚焦于工作压力对Sb2Se3薄膜太阳能电池的影响，但未探究其他溅射参数（如溅射功率和靶材-衬底距离）。研究指出双层结构及硒化工艺存在进一步优化潜力。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用磁控溅射法在不同工作压强下沉积Sb2Se3薄膜，随后通过硒化后处理获得目标结晶度和取向。
2：样品选择与数据来源：
使用镀钼玻璃基底沉积Sb2Se3薄膜。
3：实验设备与材料清单：
采用溅射真空腔室、Sb2Se3溅射靶材及硒化后处理的真空管式炉。
4：实验流程与操作步骤：
固定溅射功率和时长，调节工作压强，对沉积样品进行硒化处理。
5：数据分析方法：
通过SEM、XRD、J-V曲线和EQE光谱对薄膜及器件进行表征。
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获取完整内容-
XRD
Ultima-iv
Rigaku
Investigation of the crystal orientation of the Sb2Se3 films
-
EQE system
Zolix SCS101
Zolix Instruments
Measurement of the external quantum efficiency (EQE) spectra
-
SEM
SUPRA 55
Zeiss
Characterization of the surface and cross-sectional microstructures of the Sb2Se3 films
-
solar simulator
Measurement of the current density–voltage (J–V) curves of the Sb2Se3 devices under 100 mW/cm2 AM 1.5 G light illumination
-
source meter
Keithley 2400
Keithley Instruments
Measurement of the external quantum efficiency (EQE) spectra
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