研究目的
研究不同碱替代品（包括传统氟化盐和金属）在后沉积处理中对ACIGS薄膜太阳能电池的影响，以了解它们与ACIGS表面的相互作用及其对太阳能电池性能的影响。
研究成果
研究表明，采用碱金属及其氟化物进行沉积后处理均可获得良好效果，能形成(Ag)KInSe?或(Ag)RbInSe?化合物，并使无抗反射涂层的太阳能电池效率超过18%。最佳电池的电压损失在不同处理条件下始终稳定在400毫伏。
研究不足
分配器源中碱金属的沉积极不均匀，这可能影响样品上光电转换效应的一致性。该研究仅限于带隙能量在1.09至1.22电子伏特范围内的太阳能电池。
1：实验设计与方法选择：
研究采用四极质谱反馈控制，在550°C衬底温度下于钼涂层钠钙玻璃衬底上沉积ACIGS。沉积后处理（pdt）通过特定源配置原位使用多种化合物和金属（钾、氟化钾、铷、氟化铷）进行。
2：样品选择与数据来源：
样品在NH3刻蚀前后进行XPS分析，以模拟太阳能电池制造中的湿化学CdS工艺。
3：实验设备与材料清单：
设备包括用于氟化物沉积的蒸发源和用于碱金属蒸发的分配器源，由石英晶体监控器监测。
4：实验流程与操作步骤：
pdt在约350°C的降低衬底温度下进行10分钟，随后在真空中冷却至100°C，之后进行分析或进一步加工成太阳能电池器件。
5：数据分析方法：
使用XPS分析表面成分及化合物形成情况，通过EQE测量评估太阳能电池性能。
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quadrupole mass-spectrometry
feedback control during the deposition of ACIGS on substrates
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effusion source
deposition of fluorides for post-deposition treatment
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quartz crystal monitor
monitoring the evaporation rate during the deposition process
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dispenser source
evaporation of alkali metals for post-deposition treatment
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X-ray Photoelectron Spectroscopy
XPS
analysis of surface composition and formation of compounds
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