研究目的
研究生长温度对CdTe太阳能电池用CdS:O薄膜结构和光学性能的影响。
研究成果
与纯氩气环境中沉积的CdS薄膜相比，室温（RT）下沉积的CdS:O薄膜因其更高的光学透过率和增大的带隙，被发现更适合用于CdTe太阳能电池。该研究为光电器件应用中CdS:O薄膜的生长条件提供了有价值的见解。
研究不足
本研究仅限于生长温度对CdTe太阳能电池用CdS:O薄膜结构和光学性质的影响，未探讨氧分压和沉积时间等其他参数的影响。
1：实验设计与方法选择：
采用反应射频磁控溅射技术在1.5%氧气（O?）/氩气（Ar）环境中，以25°C至300°C的衬底温度为变量，在商用钠钙玻璃（SLG）上制备CdS:O薄膜层。
2：5%氧气（O?）/氩气（Ar）环境中，以25°C至300°C的衬底温度为变量，在商用钠钙玻璃（SLG）上制备CdS:
2. 样品选择与数据来源：使用商用实验室级钠钙玻璃（SLG）作为CdS薄膜的衬底材料。
3：样品选择与数据来源：
3. 实验设备与材料清单：帕纳科X射线衍射仪（XRD）、岛津UV-2600紫外-可见分光光度计、射频溅射腔室。
4：实验设备与材料清单：
4. 实验流程与操作步骤：以直径50毫米的分析纯（99.99%）CdS为靶材，在SLG衬底上沉积CdS:O薄膜。采用超高纯氩气（Ar）作为工艺气体，通过质量流量控制器经LabVIEW界面调节流量至16 SCCM。沉积过程中CdS靶材的射频功率保持30W恒定。
5：实验流程与操作步骤：
5. 数据分析方法：分别通过X射线衍射和紫外-可见光谱技术分析生长态CdS:O薄膜的结构特性与光学性能。
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Panalytical Diffractometer
X-ray diffraction (XRD)
Panalytical
Used for structural analysis of the as-grown CdS:O thin films.
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UV-Vis spectrophotometer
UV-2600
SHIMADZU
Used for optical properties analysis of the deposited CdS thin films on SLG substrates.
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RF sputtering chamber
Used for the synthesis of CdS:O layer on commercially available soda-lime glass (SLG).
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