研究目的
研究通过基于多扫描原理开发新型位置敏感探测器(PSD),进一步提高其空间分辨率的可能性。
研究成果
PSD多扫描的工作原理基于测量光信号相对于移动I-V特性的中位位置,相比传统横向PSD具有显著优势。该器件实现了高分辨率(可达0.05微米),且不受光斑在感测区域内位置的影响,并可通过调节施加电压使不同长度的传感器保持该分辨率。引入非线性放大元件进一步提升了器件的分辨率。
研究不足
实验中测得的实际噪声超过计算值,限制了探测器的分辨率。分辨率还取决于照明光的功率和测量设备的灵敏度。
研究目的
研究通过基于多扫描原理开发新型位置敏感探测器(PSD),进一步提高其空间分辨率的可能性。
研究成果
PSD多扫描的工作原理基于测量光信号相对于移动I-V特性的中位位置,相比传统横向PSD具有显著优势。该器件实现了高分辨率(可达0.05微米),且不受光斑在感测区域内位置的影响,并可通过调节施加电压使不同长度的传感器保持该分辨率。引入非线性放大元件进一步提升了器件的分辨率。
研究不足
实验中测得的实际噪声超过计算值,限制了探测器的分辨率。分辨率还取决于照明光的功率和测量设备的灵敏度。
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