研究目的
研究氮离子注入CR-39聚合物的表面特性，以了解离子注入引起的改性及其在紫外线阻挡器件中的潜在应用。
研究成果
氮离子注入显著改变了CR-39聚合物的表面特性，导致碳化及光学性能变化。研究表明，由于CR-39在高注量下具备阻挡紫外线辐射的能力，其作为紫外屏蔽器件的功能材料具有应用潜力。
研究不足
该研究聚焦于氮离子注入对CR-39聚合物表面改性的影响及其光学特性。研究局限性包括所采用的特定能量与注量范围，且分析仅限于背散射光谱（RBS）和紫外-可见光谱技术。
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氮离子注入CR-39聚合物的表面特性：卢瑟福背散射研究
DOI：10.1016/j.vacuum.2018.11.028
期刊：Vacuum
出版年份：2019
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
本文研究了氮离子注入CR-39聚合物的表面特性。实验样品采用100 keV N+束流分别以1×101?、1×101?和2×101? ions/cm?2的注量进行注入。通过卢瑟福背散射谱（RBS）和紫外-可见光谱分析了离子注入诱导的材料改性。RBS研究表明原始CR-39试样结构在氮离子注入后完全改变。利用RBS谱估算了碳化作用的空间分布、投影射程、保留剂量及注入氮的原子浓度。RUMP分析显示当注量为2×101? N+ cm?2时，注入样品表层区域的碳浓度从32 at.%增至43 at.%，氧浓度从19 at.%增至26 at.%，这种碳浓度的提升表明注入层发生了碳化现象。此外，紫外-可见透射光谱表明高注量处理后几乎完全阻隔了紫外波段，使CR-39成为适用于紫外屏蔽器件的功能性材料。
作者：
M. Chawla，Divya Gupta，Nidhi Shekhawat，Sunil Ojha，Sanjeev Aggarwal
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