研究目的
通过铬离子/PEG200诱导法制备椭球棒状二氧化硅纳米复合磨料，以提高蓝宝石基板的材料去除率并改善其表面粗糙度。
研究成果
采用铬离子/聚乙二醇200诱导法制备的椭球棒状二氧化硅纳米复合磨料在蓝宝石衬底上展现出优异的化学机械抛光性能，实现了更高的材料去除率和更低的表面粗糙度。这归因于化学与机械效应的最佳协同作用。
研究不足
该研究聚焦于椭球棒状二氧化硅纳米复合磨料在蓝宝石衬底上的制备及其抛光性能。对于磨料的潜在团聚现象以及抛光液在不同条件下的稳定性，未进行深入探究。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用铬离子/PEG200诱导法制备椭球棒状二氧化硅纳米复合磨料，探讨了合成过程、化学键合及包覆机制。
2：样品选择与数据来源：
使用中国江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司的蓝宝石衬底。
3：实验设备与材料清单：
硝酸铬九水合物、聚乙二醇、氢氧化钠、盐酸、阳离子交换树脂、硅酸钠及去离子水；设备包括UNIPOL-1502化学机械抛光机、扫描电镜(SEM)、飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)、X射线光电子能谱(XPS)及接触角测量仪。
4：实验流程与操作步骤：
制备磨料并进行表征，评估其对蓝宝石衬底的抛光性能。
5：数据分析方法：
计算并分析材料去除率与表面粗糙度以评价抛光效果。
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