研究目的
建立结构照明显微镜马基奥拓扑成像中网格锐度的仪器条件，并分析两种主要类型的马基奥拓扑装置（基于透镜和基于反射镜）维持网格锐度的能力。
研究成果
基于透镜的设置可以将光栅清晰地定位在马基图像上，便于同时观察样品形貌。然而，基于反射镜的设置由于仪器几何限制无法实现这一点。
研究不足
该研究的局限性在于采用了简化模型，其假设了点光源、单色照明和平坦样品等理想条件。这些理想化设定可能会限制研究结果的实际适用性。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用简化模型，包含理想点光源、单色照明、平面样品及简化网格几何结构，以分析网格图像清晰度。
2：样品选择与数据来源：
选用一块2英寸硅晶圆作为测试样品，其背面存在划痕、整体形变及其他局部形貌特征。
3：实验设备与材料清单：
基于透镜的装置（含500毫米焦距会聚透镜和820纳米尾纤LED）及基于反射镜的装置（含两个914.4毫米焦距球面镜和592纳米黄色芯片LED）。使用通过光刻工艺在平面玻璃基板上制作的网格（间距2毫米，线宽200微米）。
4：4毫米焦距球面镜和592纳米黄色芯片LED）。使用通过光刻工艺在平面玻璃基板上制作的网格（间距2毫米，线宽200微米）。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：调整网格位置以实现马基赫图像中的清晰度，并观察衍射效应。
5：数据分析方法：
根据马基赫图像中形貌特征的可见性评估网格图像清晰度。
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获取完整内容-
converging lens
500 mm focal-length
Collimator/magnifier in the lens-based set-up
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LED
820-nm pigtailed
Point source in the lens-based set-up
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spherical mirrors
914.4 mm focal-length
Used in the mirror-based set-up
-
LED
yellow chip, 592 nm
Point source in the mirror-based set-up
-
camera
1280 × 960 pixel resolution b/w
Image capture
-
objective
75 mm focal length
Camera lens
-
grid
2 mm pitch, 200 μm line width
Structured illumination
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