研究目的
基于单个SnO微盘作为活性元件制造传感器器件，并测试其作为气体传感器的响应，旨在理解微盘的内在响应特性并开发低功耗器件。
研究成果
研究表明，单个SnO微盘器件在小型化和低功耗方面具有优势，但与互联阵列相比灵敏度有所降低。该研究揭示了厚度和暴露表面积对气体传感性能的影响，并首次报道了NO2环境下SnO微盘的德拜长度。
研究不足
该研究强调了单SnO微盘器件相比互联微盘阵列灵敏度降低，表明微型化与灵敏度之间存在权衡。NO?从表面缓慢脱附以及CO饱和导致电阻变化有限被指出是技术限制因素。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用双束显微镜（扫描电镜/聚焦离子束）进行纳米加工，基于单个SnO微圆盘制备传感器器件。方法包括通过碳热还原法制备SnO圆盘、分离圆盘并将其与金属电极实现电连接。
2：样本选择与数据来源：
研究选取了不同面积和厚度的SnO圆盘。这些圆盘由SnO2粉末和炭黑合成，随后通过沉降法分离获得。
3：实验设备与材料清单：
使用设备包括双束显微镜（Helios NanoLab 600i，FEI）、Keithley 6487稳压电源及外加热腔室。材料包含SnO2粉末、炭黑、异丙醇以及带有叉指铂电极的Si/SiO2衬底。
4：实验流程与操作步骤：
过程包括将SnO圆盘悬浮液沉积至衬底上，通过化学气相沉积法识别并连接孤立SnO圆盘与铂触点，通过在NO2和CO暴露下监测电阻变化进行气体传感测量。
5：数据分析方法：
通过计算气体暴露时电阻与基线电阻的比值评估气体传感器响应，测算德拜长度以理解传感机制。
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Dual Beam Microscope
Helios NanoLab 600i
FEI
Used for nanofabrication of the sensor devices, including the isolation and electrical connection of SnO micro-disks to metallic electrodes.
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Stabilized Voltage Source
Keithley 6487
Keithley
Used to monitor changes in resistance during gas sensing measurements.
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SnO2 Powder
Sigma-Aldrich
Used as a precursor material for the synthesis of SnO disks via carbothermal reduction.
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Carbon Black
Union Carbide
Used in the carbothermal reduction process for the synthesis of SnO disks.
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