研究目的
提出一种快速优化硅单轴电磁扭转微镜的方法，重点在满足微型投影仪约束条件下降低尺寸与功耗。
研究成果
该研究展示了一种快速高效的方法，通过解析描述微镜的本构方程来优化MOEMS微镜。该方法能快速探索设计空间并识别帕累托最优解。有限元法验证表明，实际器件性能与所提方法计算结果的偏差在百分之几以内，适用于初始设计阶段或作为更精细优化的起点。
研究不足
主要限制在于采用了简化的分析模型，该模型可能无法完全捕捉实际镜面的所有物理特性。但有限元验证表明，该模型的精度足以满足设计需求。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用半解析法优化微机电系统（MOEMS）微镜，结合解析模型与标准多目标优化算法。
2：样本选择与数据来源：
研究聚焦于单轴电磁扭转微镜的特定设计方案。
3：实验设备与材料清单：
该微镜包含带多匝线圈的矩形振片、外部永磁体及扭转弹簧。
4：实验流程与操作步骤：
优化过程包括定义设计目标（最小化驱动电流与微镜尺寸，最大化共振频率）及约束条件，随后采用ε-约束法进行优化。
5：数据分析方法：
通过有限元法（FEM）仿真验证解析模型的准确性。
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MEMS micromirror
Used in mobile image projectors (pico-projectors) for optical scanning.
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permanent magnets
Provide the required magnetic field for actuation.
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multi-loop coil
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Finite Element Method (FEM) software
ANSYS
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