研究目的
开发一种具有稳定且长寿命电子发射的电子源,用于微型化MEMS型透射电子显微镜(TEM)。
研究成果
所开发的碳纳米管平面阴极展现出稳定且长寿命的电子发射性能(长达45小时),且无需填充材料或后处理工艺。这一突破对碳纳米管阴极在片上真空器件(尤其是微型透射电镜)中的应用具有重要意义。
研究不足
寿命测试期间的发射电流处于微安范围,低于V-I测试中测得的电流。这表明可能存在疲劳效应或其他影响长期性能的因素。
研究目的
开发一种具有稳定且长寿命电子发射的电子源,用于微型化MEMS型透射电子显微镜(TEM)。
研究成果
所开发的碳纳米管平面阴极展现出稳定且长寿命的电子发射性能(长达45小时),且无需填充材料或后处理工艺。这一突破对碳纳米管阴极在片上真空器件(尤其是微型透射电镜)中的应用具有重要意义。
研究不足
寿命测试期间的发射电流处于微安范围,低于V-I测试中测得的电流。这表明可能存在疲劳效应或其他影响长期性能的因素。
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