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含溴化铯或活性介质的多层超透镜用于亚波长光刻技术

DOI：10.2528/pierb13123101 期刊：Progress In Electromagnetics Research B 出版年份：2014 更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要： 利用有效介质理论推导的色散关系和频谱域传递函数，对周期性多层近场超透镜的特性进行分析与优化。通过k'z-kx等高线图解释并预测传递函数的频谱宽度、振幅及相位。提出采用溴化铯层或活性层的超透镜方案，分别用于降低图像畸变或补偿传播损耗。经模拟优化，使用溴化铯层的超透镜可分辨低至λ/36的半节距特征，而活性层方案可达λ/20的分辨率。
作者： Li-Hao Yeh，Jean-Fu Kiang
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

为分析和优化周期性多层近场超透镜在亚波长光刻中的特性，提出采用含溴化铯或活性层的超透镜以减少图像畸变或补偿传播损耗。

研究成果

研究表明，含有溴化铯（CsBr）或活性层的周期性多层超透镜能显著提升亚波长光刻的成像分辨率。所提出的超透镜利用溴化铯层可实现半节距特征分辨至λ/36，使用活性层则可达λ/20，且层厚度与波长的合理偏差对其性能影响甚微。

研究不足

该研究的局限性在于制造所提出的超透镜存在实际约束条件，包括层厚度所需的精度以及具有理想光学特性材料的可获得性。此外，超透镜的性能可能会受到层厚度和波长偏差的影响。

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