研究目的
研究V2O5薄膜作为NO2气体传感器的应用及金属-绝缘体转变（MIT）对传感器性能的影响。
研究成果
V2O5薄膜在相对较低的工作温度下对NO2具有敏感性，在545K以上观察到传感器灵敏度显著提高，这与推测的金属-绝缘体转变有关。关于选择性，研究将继续进行。
研究不足
该研究聚焦于V2O5薄膜在较低工作温度下对NO2的敏感性，其选择性（尤其是针对水蒸气）将进一步探究。
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五氧化二钒薄膜作为二氧化氮传感器 ?
DOI：10.3390/s18124177
期刊：Sensors
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
五氧化二钒薄膜通过射频反应溅射法从金属钒靶材沉积于绝缘基底上。采用不同组分比例的氩氧混合气体（通过流量控制）进行溅射。利用掠入射X射线衍射（GIXD）和扫描电子显微镜（SEM）进行结构与物相表征，薄膜厚度通过轮廓仪测定。GIXD证实所沉积薄膜为V2O5相。研究了该材料在410-617K温度范围内对4-20ppm二氧化氮气体的气敏性能，表现出良好的响应特性与可逆性。首次观测并讨论了金属-绝缘体转变（MIT）对传感器性能的影响，发现当温度超过545K时传感器灵敏度显著提升，这与推测的金属-绝缘体转变相关。
作者：
Krystyna Schneider，Wojciech Maziarz
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