研究目的
研究退火温度对电子束蒸发法制备的CdSe薄膜形貌、结构及光学性能的影响。
研究成果
研究表明,退火温度显著影响CdSe薄膜的结构和光学特性。晶粒尺寸随温度升高而增大,且薄膜呈现直接带隙特性。研究结果表明,通过控制退火温度可调控CdSe薄膜的性能,这对光电器件应用至关重要。
研究不足
该研究仅限于300°C以内退火温度对CdSe薄膜的影响。该工艺需在真空中操作,这可能限制其可扩展性并增加成本。
1:实验设计与方法选择:
采用电子束蒸发技术在玻璃基板上沉积CdSe薄膜,并在100°C至300°C范围内进行退火处理。
2:样品选择与数据来源:
使用光谱纯硒化镉(99.99%)作为源材料。
3:99%)作为源材料。 实验设备与材料清单:
3. 实验设备与材料清单:HINDHI-VAC真空机组(型号:12A4D)、电子束电源(型号:EBG-PS-3K)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)及傅里叶变换红外光谱仪。
4:实验步骤与操作流程:
在10^-6托真空度下,以5 kV加速电压和约1.5 kW/cm2功率密度沉积薄膜,蒸发速率为0.5 nm/s。
5:5 kW/cm2功率密度沉积薄膜,蒸发速率为5 nm/s。 数据分析方法:
5. 数据分析方法:通过XRD数据计算晶粒尺寸、位错密度、应变及晶格常数;利用UV-Vis光谱分析光学特性。
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获取完整内容-
Scanning Electron Microscope
HITACHI Model S-3000H
HITACHI
Used for morphological characterization of the films.
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X-ray diffraction unit
X’pert Pro PANanalytical
PANanalytical
Used for structural characterization of the films.
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UV-Vis-NIR spectrophotometer
Hitatchi-330
Hitatchi
Used for optical characterization of the films.
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HINDHI-VAC vacuum unit
12A4D
HINDHI-VAC
Used for depositing CdSe thin films on glass substrates.
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Electron beam power supply
EBG-PS-3K
Provides power for the electron beam evaporation process.
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