研究目的
研究在中等真空压力范围（前级真空）下运行的等离子体电子源实现石英玻璃电子束焊接的可能性。
研究成果
该研究证明了采用前级真空等离子体电子源进行石英玻璃电子束焊接的原理可行性，所获焊缝强度与原材料相当。通过确定最佳焊接温度，实现了最小化质量夹杂并确保高焊缝强度。
研究不足
该研究的局限性在于电子束在石英玻璃中的穿透深度较浅以及材料导热率较低，这影响了焊接过程的效率及焊缝质量。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用前级真空等离子电子源进行石英玻璃的电子束焊接，重点研究气体氛围成分和加热温度对焊缝质量的影响。
2：样本选择与数据来源：
以石英玻璃棒和管为样本，使用残余气体分析仪分析气体氛围成分。
3：实验设备与材料清单：
设备包括前级真空等离子电子源、真空室、机械前级真空泵、高温测温仪和残余气体分析仪；材料为石英玻璃棒和管。
4：实验流程与操作步骤：
将真空室抽至特定压力后通入氦气，在受控温度下进行电子束焊接。
5：数据分析方法：
采用万能试验机测试焊缝机械强度，通过残余气体分析仪分析气体氛围成分。
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