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金属夹层ZnO/Ti/Cu/Ti/ZnO透明导电薄膜的电学与光学特性

DOI：10.1049/mnl.2018.5234 期刊：Micro & Nano Letters 出版年份：2018 更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要： 采用磁控溅射技术制备了金属夹层氧化锌(ZnO)/钛(Ti)/铜(Cu)/Ti/ZnO薄膜体系，并通过快速热退火系统在100至400°C温度范围内进行退火处理。研究了Ti膜厚度及退火温度对表面形貌、方阻和光学性能的影响。随着退火温度升高，表面形貌变化较小；方阻随Ti膜厚度或退火温度增加而降低。最大透光率和品质因数均随Ti膜厚度增加而减小。最大透光率在100-300°C升温过程中升高后下降，而品质因数随温度升高持续提升，表明经400°C退火的金属夹层ZnO/Ti/Cu/Ti/ZnO薄膜体系具有最优性能。
作者： Qijing Lin，Na Zhao，Zhuangde Jiang，Qingzhi Meng，Feng Chen
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

通过研究Ti膜厚度和退火温度对金属夹层ZnO/Ti/Cu/Ti/ZnO薄膜体系表面形貌、方阻及光学性能的影响，制备具有高导电性和高可见光透过率的透明导电薄膜。

研究成果

经400°C退火的金属夹层ZnO/Ti/Cu/Ti/ZnO薄膜体系具有最佳性能，其导电性和光学特性均得到改善。品质因数随温度升高而增加，表明退火对薄膜性能具有积极影响。

研究不足

该研究仅限于Ti膜厚度和退火温度对ZnO/Ti/Cu/Ti/ZnO薄膜性能的影响。复杂的制备工艺可能会限制其应用。

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