研究目的
研究采用化学蚀刻工艺降低半球谐振器频率分裂的方法，以提升半球谐振陀螺仪（HRG）的性能。
研究成果
化学蚀刻是一种在不损害半球谐振器品质因数的前提下有效减小频率分裂的方法。它为更复杂、成本更高的调谐方法提供了一种经济高效的替代方案。该方法特别适用于中等精度的半球谐振陀螺仪。
研究不足
化学蚀刻工艺的精度受温度稳定性、溶液浓度及波腹定位准确性等因素影响。该方法在实现极低频率分裂时，其精度可能不及离子束蚀刻。
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通过化学蚀刻减小半球形谐振器的频率分裂
DOI：10.3390/s18113772
期刊：Sensors
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
半球谐振陀螺仪（HRG）因其卓越的性能、超高的可靠性以及可微型化的潜力，引起了全球惯性导航领域的关注。这类器件在消除两个简并工作模式的频率差时性能最佳?；荡?、激光烧蚀、离子束刻蚀等方法虽已被用于谐振器调频，但它们要么需要昂贵设备和复杂流程，要么会显著改变谐振器的品质因数。本文首次通过实验研究了采用化学刻蚀工艺降低半球谐振器频率分裂的方法。我们不仅对化学刻蚀过程进行了理论分析，还阐明了频率分裂与质量误差的关系。实验证明，该化学刻蚀工艺可将频率分裂降至0.05赫兹以下，且不会损伤谐振器的品质因数。与其他调频方法相比，该化学刻蚀方案实施便捷，耗时少、人力投入低，可作为获得中等精度半球谐振陀螺仪的有效微调手段。
作者：
Yuting Wang，Yao Pan，Tianliang Qu，Yonglei Jia，Kaiyong Yang，Hui Luo
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