研究目的
研究采用新型电沉积法在p-Si(111)衬底上制备的纳米结构ZnO薄膜的电学及传感特性，用于气体传感应用。
研究成果
采用新型电镀法在p-Si(111)晶圆衬底上制备的ZnO纳米颗粒传感器对还原性一氧化碳和乙醇具有高灵敏度、可逆且快速的响应特性，展现出其作为检测CO和C2H5OH气体传感器的卓越应用潜力。两种气体在300°C时灵敏度达到最大值。
研究不足
该研究聚焦于在高达300°C温度下对CO和C2H5OH气体的敏感性，未深入探究较低温度及其他气体的性能表现。
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采用新型电镀法在p-Si(111)晶圆衬底上制备的氧化锌纳米传感器的潜力
DOI：10.1016/j.aej.2018.01.017
期刊：Alexandria Engineering Journal
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
采用一种新型电沉积法在p-Si(111)衬底上制备了纳米结构ZnO薄膜，并对其电学及传感性能进行了研究。通过测量ZnO薄膜两点间电阻的变化发现：在300°C温度下，该传感器对CO气体表现出最大灵敏度(d=10)，对C2H5OH气体则达到(d=14.70)。由此可见，灵敏度测试表明由纳米氧化锌层构成的传感器在超过100°C时具有更高效率。此外，该传感元件对还原性气体也展现出良好响应特性。
作者：
Z. Messai，T. Devers，T. Mouet，Z. Ouennoughi，A. Boussahoul，A. Gamoura
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