研究目的
通过原子层沉积AZO三维涂层提升ZnO纳米棒乙醇传感器的气敏性能研究。
研究成果
研究表明，ALD AZO三维涂层能显著提升氧化锌纳米棒气体传感器对乙醇蒸汽的检测性能，尤其在较低温度下效果更为明显。最佳工作温度为320℃，而在室温25℃时传感响应提升达到峰值，约增强200%。
研究不足
传感响应的提升会随着工作温度的升高而降低。需要优化AZO涂层的厚度，以防止纳米棒相互粘连并保持较高的表面积与体积比。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用水热生长法合成本征ZnO纳米棒，并利用原子层沉积（ALD）技术制备AZO薄膜涂层。
2：样品选择与数据来源：
ZnO纳米棒生长于硅片衬底上，其ZnO种子层通过ALD法合成。
3：实验设备与材料清单：
包括ALD反应腔室、二乙基锌、三甲胺、去离子水及气体传感器测试系统。
4：实验步骤与操作流程：
包含ZnO纳米棒合成、AZO薄膜的ALD涂层制备，以及乙醇蒸汽传感性能测试。
5：数据分析方法：
基于电阻变化计算传感响应，并从响应时间和恢复时间评估性能。
独家科研数据包，助您复现前沿成果，加速创新突破
获取完整内容-
Atomic Layer Deposition (ALD) reaction chamber
Used for depositing ZnO seed layers and AZO thin films on ZnO nanorods.
-
Field emission scanning electron microscope (FESEM)
Used for investigating the morphology of ZnO nanorod gas sensors.
-
Energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS)
Used for analyzing the compositions of AZO thin films.
-
X-ray diffraction (XRD)
Used to determine the crystal structure of the ZnO nanorod gas sensors.
-
Compact Rio 9068
9068
National Instrument
Used as a controller for detecting the sample resistance change and controlling the reaction chamber temperature.
-
NI 9217
9217
National Instrument
Used to collect the temperature signal from the RTD.
-
NI 9269
9269
National Instrument
Used to send a power signal to the Relay.
-
NI 9381
9381
National Instrument
Used to provide the power source to the testing circuit and to indicate the voltage on the reference resistor.
-
登录查看剩余6件设备及参数对照表
查看全部
