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集成气体传感器器件的增强传感性能

DOI：10.3390/proceedings2131508 期刊：Proceedings 出版年份：2018 更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要： 专为可穿戴设备设计的半导体金属氧化物（SMO）气体传感器，在功耗、热分布及传感性能方面进行了研制与表征。该传感器在10.5毫瓦低功耗下展现出低至ppb级挥发性有机物浓度的灵敏度。为进一步提升低功耗状态下的基线稳定性与传感响应特性，提出新型传感器结构。该设计在制备工艺与微加热器几何形态方面实现创新，从而提升的传感器性能为SMO气体传感器开辟了新应用场景。本研究通过实验表征与模拟分析对比了两种设计方案，报告了两类传感器的分析结果比较。
作者： Ayoub Lahlalia，Olivier Le Neel，Ravi Shankar，Siegfried Selberherr，Lado Filipovic
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

为进一步提高对挥发性有机化合物（VOCs）的灵敏度，在低功耗条件下改善基线稳定性，同时使传感器与专用集成电路（ASIC）特性兼容。

研究成果

与最初的D02设计相比，这种新型复合加热器设计在仅消耗10.5毫瓦低功率的情况下，显著提升了对甲醛的灵敏度及基线稳定性。该传感器的响应和恢复时间对于空气质量监测应用来说令人满意。

研究不足

该研究聚焦于低功耗条件下的挥发性有机化合物（VOCs）灵敏度及基线稳定性。与专用集成电路（ASIC）特性的兼容性是关键考量因素，但研究未探讨其他潜在应用场景或不同环境条件下的局限性。

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